 |
Силановый тип SiH4 3E 50
| |
|
Характеристики
• Амперометрический 3-х электродный сенсор
• Высокая разрешающая способность
• Фиксированный органический гелевый электролит
• Высокая надежность
Тип Sensoric Classic: 0941-031-11069
Адаптация к серии CTL 4: 0941-031-14049
Адаптация к серии CTL 7: 0941-031-17079 |
| ТЕХНИЧЕСКИЕ
СПЕЦИФИКАЦИИ |
|
| Диапазон измерений |
0-50 ppm SiH4; 0-2 ppm GeH4
|
| Диапазон чувствительности
|
130 нА/ppm ±70 нА/ppm |
| Нулевой ток при 20oС
|
<±25нА
|
| Разрешение |
< 0.05 ррm
|
| Напряжение смещения |
0 мВ
|
| Линейность |
<10 % для полной шкалы
|
| Время реакции при 20oС
|
|
| t50 |
<10сек. расчет для 2-х минутного времени воздействия
|
| t90 |
<60сек. расчет для 2-х минутного времени воздействия
|
| Долгосрочный дрейф чувствительности
|
< 5% за 6 месяцев |
| Условия работы |
|
| Температурный диапазон
|
от -20° С до +40° С
|
| Диапазон влажности |
20-95 % отн.влажность, конденсация отсутствует
|
| Влияние температуры |
|
| На чувствительность |
~0.8%/° С |
| На нулевой ток |
~1%/° С
|
| Влияние влажности |
внезапное изменение относительной влажности приводит
к кратковременному смещению нулевых показаний |
| Ожидаемый срок службы
сенсора |
>18 месяцев
|
| Гарантия |
10 месяца
|
| |
|
| |
|
|
| ПЕРЕКРЕСТНАЯ
ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТЬ ПРИ 20 оС |
|
| Газ |
Концентрация |
Показания [ppm] |
|
Аммиак
|
100 ррт
|
0
|
|
Арсин
|
0.2 ppm
|
0.2
|
|
Углекислый газ
|
5000 ppm
|
0
|
|
Угарный газ
|
100 ppm
|
0
|
|
Хлор
|
1 ppm
|
0
|
|
Диоксид хлора
|
1 ppm
|
0.2
|
|
Диборан
|
0.25 ppm
|
0.1
|
|
Германий
|
1 ppm
|
1.0
|
|
Соляная кислота
|
5 ppm
|
0
|
|
Углеводороды
|
% диапазон
|
0
|
|
Водород
|
3000 ppm
|
01
|
|
Циановодород
|
20 ppm
|
0.5
|
|
Фтороводород
|
4 ppm
|
0
|
|
Сероводород
|
20 ppm
|
да; n/a (He определено)
|
|
Азот
|
100%
|
0
|
|
Двуокись азота
|
10 ppm
|
-1.5
|
|
Озон
|
0.3 ppm
|
0.01
|
|
Фосген
|
0.3 ppm
|
0
|
|
Фосфин
|
0.1 ppm
|
0.2
|
|
Двуокись серы
|
20 ppm
|
4
|
|
1) Ожидаемая интерференция >4% Н2.
Примечание: Коэффициенты интерференции могут изменяться при переходе
от одного сенсора к другому, а также в течение срока службы. Не рекомендуется
выполнять калибровку с помощью интерферирующих газов.
|
| |
| Компания MST
IT GmbH считает приведенные данные действительно верными, а выраженные оценки,
это – мнение опытных экспертов, которое сформировалось на основе проведенных
тестов. Приведенные выше данные нельзя использовать в качестве гарантии
или объявленных характеристик, за которые компания MST IT GmbH несет официальную
ответственность. Данные приведены исключительно для рассмотрения, анализа,
изучения и проверки. Любое использование данной информации ограничено федеральными,
земельными и местными законами и постановлениями. |
| |
|
|
|
|
